化学气相沉积设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02107463.1

申请日：

2002-03-19

公开(公告)号：

CN1302152C

公开(公告)日：

2002-10-23

发明(设计)人：

金宰湖朴相俊

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23C16513

IPC分类号：

H01L21205

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

马娅佳

法律状态：

专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-05-10	专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移	专利申请权、专利权的转移专利申请权的转移变更事项:申请人变更前权利人:株式会社APEX 变更后权利人:株式会社IPS 变更事项:地址变更前权利人:韩国忠清北道变更后权利人:韩国京畿道登记生效日:20060407
2007-02-28	授权	授权
2022-04-05	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):C23C 16/513 申请日:20020319 授权公告日:20070228
2016-09-07	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101738623359 IPC(主分类):C23C 16/513 专利号:ZL021074631 变更事项:专利权人变更前:圆益IPS股份有限公司变更后:圆益控股股份有限公司变更事项:地址变更前:韩国京畿道变更后:韩国京畿道平泽市漆怪街78-40(芝制洞)
2016-09-07	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101738623360 IPC(主分类):C23C 16/513 专利号:ZL021074631 登记生效日:20160818 变更事项:专利权人变更前权利人:圆益控股股份有限公司变更后权利人:圆益IPS股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:韩国京畿道平泽市漆怪街78-40(芝制洞) 变更后权利人:韩国京畿道平泽市振威面振威产团路75
2002-09-11	实质审查的生效	实质审查的生效
2012-02-22	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101288320992 IPC(主分类):C23C 16/513 专利号:ZL021074631 变更事项:专利权人变更前权利人:株式会社IPS 变更后权利人:圆益IPS股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:韩国京畿道变更后权利人:韩国京畿道登记生效日:20120111
2002-10-23	公开	公开
2003-01-15	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

化学气相沉积设备 [P].

金宰湖 ;

朴相俊 .

中国专利 :CN100540734C ,2006-10-18

[2]

化学气相沉积载台结构及化学气相沉积设备 [P].

朱合意 ;

贾钊 ;

窦志珍 ;

胡恒广 .

中国专利 :CN222524669U ,2025-02-25

[3]

化学气相沉积设备 [P].

金昶成 ;

刘相德 ;

洪钟波 ;

沈智慧 ;

李元申 .

中国专利 :CN102230167A ,2011-11-02

[4]

化学气相沉积设备 [P].

裴绍凯 .

中国专利 :CN102108498B ,2011-06-29

[5]

化学气相沉积设备 [P].

陈五奎 ;

任陈平 ;

李文江 .

中国专利 :CN301589889S ,2011-06-22

[6]

化学气相沉积设备 [P].

仰卫 .

中国专利 :CN107435141A ,2017-12-05

[7]

化学气相沉积设备 [P].

赵仰政 .

中国专利 :CN306403676S ,2021-03-23

[8]

化学气相沉积设备 [P].

龙梅丽 .

中国专利 :CN223016962U ,2025-06-24

[9]

化学气相沉积设备 [P].

徐丰 ;

邓铁夫 .

中国专利 :CN307791510S ,2023-01-13

[10]

化学气相沉积设备 [P].

周向阳 .

中国专利 :CN222923231U ,2025-05-30

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