化学气相沉积设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710661461.7

申请日：

2017-08-04

公开(公告)号：

CN107435141A

公开(公告)日：

2017-12-05

发明(设计)人：

仰卫

申请人：

申请人地址：

430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

代理机构：

深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304

代理人：

孙伟峰;黄进

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-12-05	公开	公开
2017-12-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/458 申请日:20170804
2020-10-30	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 16/458 申请公布日:20171205

共 50 条

[1]

化学气相沉积设备 [P].

张保龙 .

中国专利 :CN113584465A ,2021-11-02

[2]

化学气相沉积设备 [P].

金昶成 ;

刘相德 ;

洪钟波 ;

沈智慧 ;

李元申 .

中国专利 :CN102230167A ,2011-11-02

[3]

化学气相沉积设备 [P].

梁秉文 .

中国专利 :CN202705462U ,2013-01-30

[4]

化学气相沉积设备 [P].

裴绍凯 .

中国专利 :CN102108498B ,2011-06-29

[5]

化学气相沉积设备 [P].

梁秉文 .

中国专利 :CN103074615A ,2013-05-01

[6]

化学气相沉积设备 [P].

金宰湖 ;

朴相俊 .

中国专利 :CN1302152C ,2002-10-23

[7]

化学气相沉积设备 [P].

翟国平 ;

宋维鼎 ;

归玉龙 .

中国专利 :CN222332049U ,2025-01-10

[8]

化学气相沉积设备 [P].

周向阳 .

中国专利 :CN223373222U ,2025-09-23

[9]

化学气相沉积设备 [P].

金昶成 ;

刘相德 ;

洪钟波 ;

沈智慧 ;

李元申 .

中国专利 :CN101469411B ,2009-07-01

[10]

化学气相沉积设备 [P].

金宰湖 ;

朴相俊 .

中国专利 :CN100540734C ,2006-10-18

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