互连结构及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710001838.2

申请日：

2007-01-05

公开(公告)号：

CN101000904A

公开(公告)日：

2007-07-18

发明(设计)人：

尼古拉斯·C.·弗勒蒂莫西·约瑟夫·达尔顿萨特扬纳拉扬纳·文卡塔·尼塔

申请人：

申请人地址：

美国纽约

IPC主分类号：

H01L23522

IPC分类号：

H01L23532 H01L21768

代理机构：

中国国际贸易促进委员会专利商标事务所

代理人：

王永刚

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-09-12	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-07-18	公开	公开
2013-03-13	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101406931845 IPC(主分类):H01L 23/522 专利号:ZL2007100018382 申请日:20070105 授权公告日:20090415 终止日期:20120105
2009-04-15	授权	授权

共 50 条

[1]

互连结构及其形成方法 [P].

江政鸿 ;

巫幸晃 ;

刘家玮 .

中国专利 :CN114792673A ,2022-07-26

[2]

互连结构及其形成方法 [P].

蔡纾婷 ;

林政贤 ;

庄俊杰 ;

杨敦年 ;

刘人诚 ;

洪丰基 .

中国专利 :CN104051422A ,2014-09-17

[3]

互连结构及其形成方法 [P].

金吉松 .

中国专利 :CN114068451A ,2022-02-18

[4]

互连结构及其形成方法 [P].

郭家邦 ;

蓝若琳 ;

杨竣翔 ;

高铭远 ;

林其锋 .

中国专利 :CN118431190A ,2024-08-02

[5]

互连结构及其形成方法 [P].

高理想 ;

孙茂 ;

张宏光 .

中国专利 :CN118629952A ,2024-09-10

[6]

互连结构及其形成方法 [P].

金书正 ;

高铭远 ;

牛振仪 ;

林彦均 ;

彭馨莹 ;

张智翔 ;

李佩璇 ;

林其锋 ;

纪志坚 ;

苏鸿文 .

中国专利 :CN114823494A ,2022-07-29

[7]

互连结构及其形成方法 [P].

威廉·R·汤蒂 ;

杰克·A·曼德尔曼 ;

杨启超 ;

许履尘 .

中国专利 :CN101188223A ,2008-05-28

[8]

互连结构及其形成方法 [P].

杨罡 .

中国专利 :CN111627855B ,2020-09-04

[9]

互连结构及其形成方法 [P].

高理想 ;

孙茂 ;

张宏光 .

中国专利 :CN118629952B ,2024-11-26

[10]

互连结构及其形成方法 [P].

杨罡 .

中国专利 :CN110494971A ,2019-11-22

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