互连结构及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411095806.3

申请日：

2024-08-12

公开(公告)号：

CN118629952B

公开(公告)日：

2024-11-26

发明(设计)人：

高理想孙茂张宏光

申请人：

杭州积海半导体有限公司

申请人地址：

310020 浙江省杭州市钱塘新区义蓬街道江东大道3899号709-7号

IPC主分类号：

H01L21/768

IPC分类号：

H01L23/522 H01L23/528

代理机构：

上海汉之律师事务所 31378

代理人：

林安安

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-09-27	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/768申请日:20240812
2024-09-10	公开	公开
2024-11-26	授权	授权

共 50 条

[1]

互连结构及其形成方法 [P].

高理想 ;

孙茂 ;

张宏光 .

中国专利 :CN118629952A ,2024-09-10

[2]

互连结构及其形成方法 [P].

蔡纾婷 ;

林政贤 ;

庄俊杰 ;

杨敦年 ;

刘人诚 ;

洪丰基 .

中国专利 :CN104051422A ,2014-09-17

[3]

互连结构及其形成方法 [P].

尼古拉斯·C.·弗勒 ;

蒂莫西·约瑟夫·达尔顿 ;

萨特扬纳拉扬纳·文卡塔·尼塔 .

中国专利 :CN101000904A ,2007-07-18

[4]

互连结构及其形成方法 [P].

杨罡 .

中国专利 :CN111627855B ,2020-09-04

[5]

互连结构及其形成方法 [P].

杨罡 .

中国专利 :CN110494971A ,2019-11-22

[6]

互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105336674A ,2016-02-17

[7]

互连结构及其形成方法 [P].

许谢慧娜 ;

刘良 ;

乔仁明 ;

曾笑梅 .

中国专利 :CN105826295B ,2016-08-03

[8]

互连结构及其形成方法 [P].

黄义钧 ;

姚志翔 ;

郑价言 ;

江文铨 ;

黄瀛文 .

中国专利 :CN106057772A ,2016-10-26

[9]

铜互连结构及其形成方法 [P].

余振华 ;

眭晓林 ;

李香寰 ;

叶菁馥 .

中国专利 :CN105280613B ,2016-01-27

[10]

金属互连结构及其形成方法 [P].

李凡 ;

张海洋 .

中国专利 :CN102832197A ,2012-12-19

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