互连结构及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510006942.5

申请日：

2015-01-07

公开(公告)号：

CN105826295B

公开(公告)日：

2016-08-03

发明(设计)人：

许谢慧娜刘良乔仁明曾笑梅

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L23522

IPC分类号：

H01L21768

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

万铁占;骆苏华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-03	公开	公开
2019-01-29	授权	授权
2016-08-31	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101676764766 IPC(主分类):H01L 23/522 专利申请号:2015100069425 申请日:20150107

共 50 条

[1]

金属互连结构及其形成方法 [P].

李凡 ;

张海洋 .

中国专利 :CN102832197A ,2012-12-19

[2]

互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103474416A ,2013-12-25

[3]

互连结构及其形成方法 [P].

王菘豊 ;

梁顺鑫 ;

张容浩 ;

朱家宏 ;

林耕竹 .

中国专利 :CN111180384A ,2020-05-19

[4]

互连结构及其形成方法 [P].

周俊卿 ;

张城龙 .

中国专利 :CN105719999A ,2016-06-29

[5]

互连结构及其形成方法 [P].

王菘豊 ;

梁顺鑫 ;

张容浩 ;

朱家宏 ;

林耕竹 .

中国专利 :CN111180384B ,2024-02-23

[6]

互连结构及其形成方法 [P].

王菘豊 ;

奧野泰利 .

中国专利 :CN109860102A ,2019-06-07

[7]

互连结构及其形成方法 [P].

杨罡 .

中国专利 :CN111627855B ,2020-09-04

[8]

互连结构及其形成方法 [P].

钟汇才 ;

梁擎擎 ;

朱慧珑 ;

赵超 .

中国专利 :CN102738117B ,2012-10-17

[9]

互连结构及其形成方法 [P].

杨罡 .

中国专利 :CN110494971A ,2019-11-22

[10]

互连结构形成方法 [P].

周鸣 ;

何永根 .

中国专利 :CN102751233A ,2012-10-24

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