互连结构及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811318515.0

申请日：

2018-11-07

公开(公告)号：

CN109860102A

公开(公告)日：

2019-06-07

发明(设计)人：

王菘豊奧野泰利

申请人：

申请人地址：

中国台湾新竹

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409

代理人：

章社杲;李伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-07-02	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20181107
2019-06-07	公开	公开

共 50 条

[1]

互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103474416A ,2013-12-25

[2]

互连结构及其形成方法 [P].

王菘豊 ;

梁顺鑫 ;

张容浩 ;

朱家宏 ;

林耕竹 .

中国专利 :CN111180384A ,2020-05-19

[3]

互连结构及其形成方法 [P].

周俊卿 ;

张城龙 .

中国专利 :CN105719999A ,2016-06-29

[4]

互连结构及其形成方法 [P].

王菘豊 ;

梁顺鑫 ;

张容浩 ;

朱家宏 ;

林耕竹 .

中国专利 :CN111180384B ,2024-02-23

[5]

互连结构及其形成方法 [P].

钟汇才 ;

梁擎擎 ;

朱慧珑 ;

赵超 .

中国专利 :CN102738117B ,2012-10-17

[6]

互连结构及其形成方法 [P].

许谢慧娜 ;

刘良 ;

乔仁明 ;

曾笑梅 .

中国专利 :CN105826295B ,2016-08-03

[7]

铝互连结构及其形成方法 [P].

黑泽和则 .

中国专利 :CN110335816A ,2019-10-15

[8]

金属互连结构及其形成方法 [P].

袁洋 ;

朱作华 ;

王函 .

中国专利 :CN119852243A ,2025-04-18

[9]

金属互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104851835B ,2015-08-19

[10]

金属互连结构及其形成方法 [P].

吴明 ;

吴孝哲 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

熊建锋 ;

马亚辉 .

中国专利 :CN109545740A ,2019-03-29

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