金属互连结构及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811425844.5

申请日：

2018-11-27

公开(公告)号：

CN109545740A

公开(公告)日：

2019-03-29

发明(设计)人：

吴明吴孝哲林宗贤吴龙江熊建锋马亚辉

申请人：

申请人地址：

223302 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23535

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

武振华;吴敏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-29	公开	公开
2020-12-22	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/768 申请公布日:20190329
2019-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20181127

共 50 条

[1]

金属互连结构的形成方法 [P].

吴明 ;

林宗贤 ;

吴孝哲 ;

吴龙江 ;

赵培培 .

中国专利 :CN110112098A ,2019-08-09

[2]

金属互连结构及其形成方法 [P].

袁洋 ;

朱作华 ;

王函 .

中国专利 :CN119852243A ,2025-04-18

[3]

金属互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104851835B ,2015-08-19

[4]

金属互连结构及其形成方法 [P].

蒲贤勇 ;

陈宗高 ;

王刚宁 ;

陈轶群 .

中国专利 :CN104733374A ,2015-06-24

[5]

金属互连结构及其形成方法 [P].

李凡 ;

张海洋 .

中国专利 :CN102832197A ,2012-12-19

[6]

金属互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

周俊卿 .

中国专利 :CN105336663B ,2016-02-17

[7]

金属互连结构的形成方法 [P].

于世瑞 .

中国专利 :CN102339789B ,2012-02-01

[8]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN104217991A ,2014-12-17

[9]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 ;

周俊卿 .

中国专利 :CN104143528A ,2014-11-12

[10]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

任佳 .

中国专利 :CN104979270B ,2015-10-14

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