金属互连结构及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410050434.2

申请日：

2014-02-13

公开(公告)号：

CN104851835B

公开(公告)日：

2015-08-19

发明(设计)人：

周鸣

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23528

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101625684156 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2014100504342 申请日:20140213
2018-12-21	授权	授权
2015-08-19	公开	公开

共 50 条

[1]

金属互连结构及其形成方法 [P].

袁洋 ;

朱作华 ;

王函 .

中国专利 :CN119852243A ,2025-04-18

[2]

金属互连结构及其形成方法 [P].

吴明 ;

吴孝哲 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

熊建锋 ;

马亚辉 .

中国专利 :CN109545740A ,2019-03-29

[3]

金属互连结构的形成方法 [P].

吴明 ;

林宗贤 ;

吴孝哲 ;

吴龙江 ;

赵培培 .

中国专利 :CN110112098A ,2019-08-09

[4]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN104217991A ,2014-12-17

[5]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 ;

周俊卿 .

中国专利 :CN104143528A ,2014-11-12

[6]

金属互连结构的形成方法及金属互连结构 [P].

谭发龙 ;

吴卓杰 .

中国专利 :CN118692987B ,2024-12-20

[7]

金属互连结构的形成方法及金属互连结构 [P].

谭发龙 ;

吴卓杰 .

中国专利 :CN118692987A ,2024-09-24

[8]

金属互连结构及其形成方法 [P].

蒲贤勇 ;

陈宗高 ;

王刚宁 ;

陈轶群 .

中国专利 :CN104733374A ,2015-06-24

[9]

金属互连结构及其形成方法 [P].

李凡 ;

张海洋 .

中国专利 :CN102832197A ,2012-12-19

[10]

互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105336675B ,2016-02-17

← 1 2 3 4 5 →