金属互连结构及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310712084.7

申请日：

2013-12-20

公开(公告)号：

CN104733374A

公开(公告)日：

2015-06-24

发明(设计)人：

蒲贤勇陈宗高王刚宁陈轶群

申请人：

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23528

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-22	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101617854615 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2013107120847 申请日:20131220
2015-06-24	公开	公开
2020-05-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/768 申请公布日:20150624

共 50 条

[1]

铝互连结构及其形成方法 [P].

黑泽和则 .

中国专利 :CN110335816A ,2019-10-15

[2]

金属互连结构及其形成方法 [P].

袁洋 ;

朱作华 ;

王函 .

中国专利 :CN119852243A ,2025-04-18

[3]

金属互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104851835B ,2015-08-19

[4]

金属互连结构及其形成方法 [P].

吴明 ;

吴孝哲 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

熊建锋 ;

马亚辉 .

中国专利 :CN109545740A ,2019-03-29

[5]

金属互连结构及其形成方法 [P].

李凡 ;

张海洋 .

中国专利 :CN102832197A ,2012-12-19

[6]

局域互连结构的形成方法 [P].

卜伟海 ;

洪中山 .

中国专利 :CN103794548A ,2014-05-14

[7]

互连结构的形成方法 [P].

韩秋华 .

中国专利 :CN104347488B ,2015-02-11

[8]

铜互连结构及其形成方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN102956546A ,2013-03-06

[9]

金属互连结构及其形成方法 [P].

王妍 ;

宋欢欢 .

中国专利 :CN115394708A ,2022-11-25

[10]

互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103474416A ,2013-12-25

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