铜互连结构及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110252698.2

申请日：

2011-08-30

公开(公告)号：

CN102956546A

公开(公告)日：

2013-03-06

发明(设计)人：

鲍宇

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23532

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-04-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101430520325 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011102526982 申请日:20110830
2016-12-21	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101743869866 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011102526982 申请公布日:20130306
2013-03-06	公开	公开

共 50 条

[1]

铜互连结构及其形成方法 [P].

张海洋 ;

胡敏达 .

中国专利 :CN102487038A ,2012-06-06

[2]

铜互连结构及其形成方法 [P].

聂佳相 .

中国专利 :CN102054756A ,2011-05-11

[3]

一种铜互连结构及其形成方法 [P].

曾绍海 .

中国专利 :CN103000575A ,2013-03-27

[4]

铜互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN105448809A ,2016-03-30

[5]

铜互连结构及其形成方法 [P].

D·C·埃德尔斯坦 ;

T·诺加米 ;

C·帕克斯 ;

T-L·泰 .

中国专利 :CN103426862A ,2013-12-04

[6]

铜互连结构及其形成方法 [P].

王京 ;

孙少俊 ;

冯冰 ;

郭振强 .

中国专利 :CN120319727A ,2025-07-15

[7]

铜互连结构及其形成方法 [P].

李存宝 ;

郭振强 ;

冯冰 ;

孙少俊 .

中国专利 :CN120388939A ,2025-07-29

[8]

铜互连结构及其形成方法 [P].

邓浩 .

中国专利 :CN103390607B ,2013-11-13

[9]

铜互连结构及其形成方法 [P].

邓浩 .

中国专利 :CN103390576A ,2013-11-13

[10]

铜互连结构及其形成方法 [P].

余振华 ;

眭晓林 ;

李香寰 ;

叶菁馥 .

中国专利 :CN105280613B ,2016-01-27

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