铜互连结构及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310181024.7

申请日：

2013-05-16

公开(公告)号：

CN103426862A

公开(公告)日：

2013-12-04

发明(设计)人：

D·C·埃德尔斯坦 T·诺加米 C·帕克斯 T-L·泰

申请人：

申请人地址：

美国纽约阿芒克

IPC主分类号：

H01L23532

IPC分类号：

H01L21768

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

王茂华;张宁

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-04-26	授权	授权
2013-12-04	公开	公开

共 50 条

[1]

铜互连结构及其形成方法 [P].

王京 ;

孙少俊 ;

冯冰 ;

郭振强 .

中国专利 :CN120319727A ,2025-07-15

[2]

铜互连结构及其形成方法 [P].

张海洋 ;

胡敏达 .

中国专利 :CN102487038A ,2012-06-06

[3]

铜互连结构及其形成方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN102956546A ,2013-03-06

[4]

铜互连结构及其形成方法 [P].

聂佳相 .

中国专利 :CN102054756A ,2011-05-11

[5]

铜互连结构及其形成方法 [P].

李存宝 ;

郭振强 ;

冯冰 ;

孙少俊 .

中国专利 :CN120388939A ,2025-07-29

[6]

铜互连结构及其形成方法 [P].

邓浩 .

中国专利 :CN103390607B ,2013-11-13

[7]

铜互连结构及其形成方法 [P].

邓浩 .

中国专利 :CN103390576A ,2013-11-13

[8]

铜互连结构及其形成方法 [P].

余振华 ;

眭晓林 ;

李香寰 ;

叶菁馥 .

中国专利 :CN105280613B ,2016-01-27

[9]

铜互连结构的形成方法 [P].

鲍宇 .

中国专利 :CN114032592A ,2022-02-11

[10]

铜互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN105448809A ,2016-03-30

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