互连结构的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310342918.X

申请日：

2013-08-07

公开(公告)号：

CN104347488B

公开(公告)日：

2015-02-11

发明(设计)人：

韩秋华

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-02-11	公开	公开
2017-06-13	授权	授权
2015-03-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101601522283 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:201310342918X 申请日:20130807

共 50 条

[1]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN104217991A ,2014-12-17

[2]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 ;

周俊卿 .

中国专利 :CN104143528A ,2014-11-12

[3]

铝互连结构及其形成方法 [P].

黑泽和则 .

中国专利 :CN110335816A ,2019-10-15

[4]

金属互连结构及其形成方法 [P].

蒲贤勇 ;

陈宗高 ;

王刚宁 ;

陈轶群 .

中国专利 :CN104733374A ,2015-06-24

[5]

互连结构形成方法 [P].

周鸣 ;

何永根 .

中国专利 :CN102751233A ,2012-10-24

[6]

局域互连结构的形成方法 [P].

卜伟海 ;

洪中山 .

中国专利 :CN103794548A ,2014-05-14

[7]

互连结构的形成方法 [P].

倪百兵 .

中国专利 :CN104124203B ,2014-10-29

[8]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

任佳 .

中国专利 :CN104979270B ,2015-10-14

[9]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

任佳 .

中国专利 :CN104979271A ,2015-10-14

[10]

互连结构的形成方法 [P].

周鸣 ;

李小雨 .

中国专利 :CN106783727B ,2017-05-31

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