互连结构形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110097045.1

申请日：

2011-04-18

公开(公告)号：

CN102751233A

公开(公告)日：

2012-10-24

发明(设计)人：

周鸣何永根

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L21265

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-10-24	公开	公开
2012-12-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101367517820 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011100970451 申请日:20110418
2015-03-11	授权	授权

共 50 条

[1]

金属互连结构形成方法 [P].

倪棋梁 ;

陈宏璘 ;

龙吟 ;

郭明升 .

中国专利 :CN102368477A ,2012-03-07

[2]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN104217991A ,2014-12-17

[3]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 ;

周俊卿 .

中国专利 :CN104143528A ,2014-11-12

[4]

互连结构的制造方法 [P].

何其旸 ;

张翼英 .

中国专利 :CN102693935A ,2012-09-26

[5]

金属互连结构形成方法和金属互连结构 [P].

牟善勇 ;

谭璜 .

中国专利 :CN102184890A ,2011-09-14

[6]

金属互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104851835B ,2015-08-19

[7]

互连结构及其形成方法 [P].

金吉松 .

中国专利 :CN114068451A ,2022-02-18

[8]

互连结构的形成方法 [P].

韩秋华 .

中国专利 :CN104347488B ,2015-02-11

[9]

互连结构的形成方法 [P].

邓武锋 .

中国专利 :CN103633018B ,2014-03-12

[10]

互连结构的形成方法 [P].

张城龙 ;

张海洋 .

中国专利 :CN105226006A ,2016-01-06

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