互连结构的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210313492.0

申请日：

2012-08-29

公开(公告)号：

CN103633018B

公开(公告)日：

2014-03-12

发明(设计)人：

邓武锋

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-03-12	公开	公开
2016-03-16	授权	授权
2014-04-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581310096 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2012103134920 申请日:20120829

共 50 条

[1]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN104217991A ,2014-12-17

[2]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 ;

周俊卿 .

中国专利 :CN104143528A ,2014-11-12

[3]

金属互连结构的形成方法 [P].

张城龙 ;

胡敏达 .

中国专利 :CN104051324A ,2014-09-17

[4]

互连结构形成方法 [P].

周鸣 ;

何永根 .

中国专利 :CN102751233A ,2012-10-24

[5]

互连结构的形成方法 [P].

陈宏 .

中国专利 :CN113725151A ,2021-11-30

[6]

互连结构的形成方法 [P].

何其暘 ;

张城龙 .

中国专利 :CN104752329B ,2015-07-01

[7]

互连结构的形成方法 [P].

肖德元 .

中国专利 :CN105304553B ,2016-02-03

[8]

互连结构的形成方法 [P].

陈宏 .

中国专利 :CN113725151B ,2024-03-15

[9]

互连结构的形成方法 [P].

张城龙 ;

张海洋 .

中国专利 :CN105226006A ,2016-01-06

[10]

金属互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104851835B ,2015-08-19

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