互连结构的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510817979.6

申请日：

2015-11-23

公开(公告)号：

CN106783727B

公开(公告)日：

2017-05-31

发明(设计)人：

周鸣李小雨

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

吴敏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-11-01	授权	授权
2017-06-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101729302517 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2015108179796 申请日:20151123
2017-05-31	公开	公开

共 50 条

[1]

互连结构的形成方法 [P].

韩秋华 .

中国专利 :CN104347488B ,2015-02-11

[2]

互连结构的形成方法 [P].

倪百兵 .

中国专利 :CN104124203B ,2014-10-29

[3]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN104217991A ,2014-12-17

[4]

互连结构的形成方法 [P].

邓浩 ;

洪中山 .

中国专利 :CN104022071A ,2014-09-03

[5]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 ;

周俊卿 .

中国专利 :CN104143528A ,2014-11-12

[6]

互连结构的形成方法 [P].

何其暘 ;

张城龙 .

中国专利 :CN104752329B ,2015-07-01

[7]

互连结构的形成方法 [P].

聂佳相 ;

刘盛 ;

杨瑞鹏 ;

孔祥涛 .

中国专利 :CN102054750A ,2011-05-11

[8]

互连结构的形成方法 [P].

张城龙 ;

张海洋 .

中国专利 :CN105226006A ,2016-01-06

[9]

互连结构的形成方法 [P].

邓浩 .

中国专利 :CN104022070A ,2014-09-03

[10]

铝互连结构及其形成方法 [P].

黑泽和则 .

中国专利 :CN110335816A ,2019-10-15

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