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互连结构的形成方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201310064745.X
申请日：
2013-02-28
公开(公告)号：
CN104022070A
公开(公告)日：
2014-09-03
发明(设计)人：
邓浩
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号：
H01L21768
IPC分类号：
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
骆苏华
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2014-09-03 公开 公开
2016-08-31 授权 授权
2014-10-08 实质审查的生效 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587257537 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:201310064745X 申请日:20130228
共 50 条
[1]
互连结构的形成方法 [P]. 
邓浩 ;
洪中山 .
中国专利 :CN104022071A ,2014-09-03
[2]
互连结构及互连结构的形成方法 [P]. 
邓浩 .
中国专利 :CN104299958A ,2015-01-21
[3]
互连结构的形成方法 [P]. 
张海洋 ;
张城龙 .
中国专利 :CN104217991A ,2014-12-17
[4]
互连结构的形成方法 [P]. 
韩秋华 .
中国专利 :CN104347488B ,2015-02-11
[5]
互连结构的形成方法 [P]. 
倪百兵 .
中国专利 :CN104124203B ,2014-10-29
[6]
互连结构的形成方法 [P]. 
张海洋 ;
张城龙 ;
周俊卿 .
中国专利 :CN104143528A ,2014-11-12
[7]
互连结构的形成方法 [P]. 
张城龙 ;
张海洋 .
中国专利 :CN105575887B ,2016-05-11
[8]
互连结构的形成方法 [P]. 
何其暘 ;
张城龙 .
中国专利 :CN104752329B ,2015-07-01
[9]
互连结构的形成方法 [P]. 
邓浩 .
中国专利 :CN104299939B ,2015-01-21
[10]
互连结构的形成方法 [P]. 
周鸣 ;
李小雨 .
中国专利 :CN106783727B ,2017-05-31
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