互连结构的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410549365.X

申请日：

2014-10-16

公开(公告)号：

CN105575887B

公开(公告)日：

2016-05-11

发明(设计)人：

张城龙张海洋

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

应战;骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-06-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101663902327 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:201410549365X 申请日:20141016
2016-05-11	公开	公开
2018-10-16	授权	授权

共 50 条

[1]

互连结构的形成方法 [P].

王新鹏 ;

卜伟海 .

中国专利 :CN104752327A ,2015-07-01

[2]

互连结构及互连结构的形成方法 [P].

邓浩 .

中国专利 :CN104299958A ,2015-01-21

[3]

互连结构的形成方法 [P].

邓浩 ;

洪中山 .

中国专利 :CN104022071A ,2014-09-03

[4]

互连结构的形成方法 [P].

何* ;

杨小军 ;

徐建华 .

中国专利 :CN107170705A ,2017-09-15

[5]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

任佳 .

中国专利 :CN104979270B ,2015-10-14

[6]

互连结构的形成方法 [P].

邓浩 .

中国专利 :CN104299939B ,2015-01-21

[7]

互连结构的形成方法 [P].

孔秋东 ;

简中祥 ;

杨熙 .

中国专利 :CN102751236A ,2012-10-24

[8]

互连结构的形成方法 [P].

邓浩 .

中国专利 :CN104022070A ,2014-09-03

[9]

金属互连结构的形成方法 [P].

范思苓 ;

倪立华 ;

蔡毅 ;

许隽 ;

吴坚 ;

周军 .

中国专利 :CN115527928A ,2022-12-27

[10]

互连结构及其形成方法 [P].

余云初 ;

沈忆华 .

中国专利 :CN104701297B ,2015-06-10

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