学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

互连结构的形成方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201310299375.8
申请日：
2013-07-16
公开(公告)号：
CN104299939B
公开(公告)日：
2015-01-21
发明(设计)人：
邓浩
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号：
H01L21768
IPC分类号：
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
骆苏华
法律状态：
授权
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2017-09-22 授权 授权
2015-02-18 实质审查的生效 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101599227544 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2013102993758 申请日:20130716
2015-01-21 公开 公开
共 50 条
[1]
互连结构及互连结构的形成方法 [P]. 
邓浩 .
中国专利 :CN104299958A ,2015-01-21
[2]
铜互连结构及其形成方法 [P]. 
聂佳相 .
中国专利 :CN102054756A ,2011-05-11
[3]
铜互连结构的形成方法 [P]. 
聂佳相 .
中国专利 :CN102054760A ,2011-05-11
[4]
铜互连结构的形成方法 [P]. 
聂佳相 .
中国专利 :CN102054759B ,2011-05-11
[5]
互连结构及其形成方法 [P]. 
邓浩 .
中国专利 :CN105140172A ,2015-12-09
[6]
金属互连结构的形成方法 [P]. 
刘继全 .
中国专利 :CN105575888A ,2016-05-11
[7]
互连结构的形成方法 [P]. 
张海洋 ;
张城龙 .
中国专利 :CN104217991A ,2014-12-17
[8]
互连结构的形成方法 [P]. 
邓浩 ;
洪中山 .
中国专利 :CN104022071A ,2014-09-03
[9]
互连结构的形成方法 [P]. 
韩秋华 .
中国专利 :CN104347488B ,2015-02-11
[10]
互连结构的形成方法 [P]. 
张海洋 ;
张城龙 ;
周俊卿 .
中国专利 :CN104143528A ,2014-11-12
12345