互连结构的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410133369.X

申请日：

2014-04-03

公开(公告)号：

CN104979271A

公开(公告)日：

2015-10-14

发明(设计)人：

张海洋任佳

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101633322807 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:201410133369X 申请日:20140403
2018-03-30	授权	授权
2015-10-14	公开	公开

共 50 条

[1]

金属互连结构的形成方法 [P].

于世瑞 .

中国专利 :CN102339789B ,2012-02-01

[2]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN104217991A ,2014-12-17

[3]

互连结构的形成方法 [P].

韩秋华 .

中国专利 :CN104347488B ,2015-02-11

[4]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 ;

周俊卿 .

中国专利 :CN104143528A ,2014-11-12

[5]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

任佳 .

中国专利 :CN104979270B ,2015-10-14

[6]

互连结构的形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105226008A ,2016-01-06

[7]

互连结构的形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105336678B ,2016-02-17

[8]

互连结构的形成方法 [P].

孙武 ;

尹晓明 ;

张海洋 ;

黄怡 .

中国专利 :CN102142393A ,2011-08-03

[9]

互连结构及互连结构的形成方法 [P].

邓浩 .

中国专利 :CN104299958A ,2015-01-21

[10]

金属互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

周俊卿 .

中国专利 :CN105336663B ,2016-02-17

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