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金属互连结构的形成方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201110335250.7
申请日：
2011-10-28
公开(公告)号：
CN102339789B
公开(公告)日：
2012-02-01
发明(设计)人：
于世瑞
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号
IPC主分类号：
H01L21768
IPC分类号：
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
骆苏华
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2014-04-30 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101700521848 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011103352507 变更事项:申请人 变更前权利人:上海宏力半导体制造有限公司 变更后权利人:上海华虹宏力半导体制造有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:201203 上海市浦东新区浦东张江高科技园区祖冲之路1399号 变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号 登记生效日:20140408 |
| 2014-01-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101559324534 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2011103352507 申请日:20111028 |
| 2015-06-10 | 授权 | 授权 |
| 2012-02-01 | 公开 | 公开 |