金属互连结构的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910431041.9

申请日：

2019-05-22

公开(公告)号：

CN110112098A

公开(公告)日：

2019-08-09

发明(设计)人：

吴明林宗贤吴孝哲吴龙江赵培培

申请人：

申请人地址：

223302 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

武振华;吴敏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20190522
2021-10-29	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/768 申请公布日:20190809
2019-08-09	公开	公开

共 50 条

[1]

金属互连结构及其形成方法 [P].

吴明 ;

吴孝哲 ;

林宗贤 ;

吴龙江 ;

熊建锋 ;

马亚辉 .

中国专利 :CN109545740A ,2019-03-29

[2]

金属互连结构及其形成方法 [P].

袁洋 ;

朱作华 ;

王函 .

中国专利 :CN119852243A ,2025-04-18

[3]

金属互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104851835B ,2015-08-19

[4]

金属互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

周俊卿 .

中国专利 :CN105336663B ,2016-02-17

[5]

金属互连结构的形成方法 [P].

于世瑞 .

中国专利 :CN102339789B ,2012-02-01

[6]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN104217991A ,2014-12-17

[7]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 ;

周俊卿 .

中国专利 :CN104143528A ,2014-11-12

[8]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

任佳 .

中国专利 :CN104979270B ,2015-10-14

[9]

金属互连结构的形成方法及金属互连结构 [P].

梁天辉 ;

张杰 ;

庄也 ;

陈力钧 ;

荆泉 .

中国专利 :CN120767253A ,2025-10-10

[10]

金属互连结构的形成方法及金属互连结构 [P].

谭发龙 ;

吴卓杰 .

中国专利 :CN118692987B ,2024-12-20

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