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互连结构的形成方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201410381338.6
申请日：
2014-08-05
公开(公告)号：
CN105336678B
公开(公告)日：
2016-02-17
发明(设计)人：
周鸣
申请人：
申请人地址：
201203 上海市浦东新区张江路18号
IPC主分类号：
H01L21768
IPC分类号：
代理机构：
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人：
高静;骆苏华
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2016-02-17 公开 公开
2018-08-10 授权 授权
2016-03-16 实质审查的生效 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101650137827 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2014103813386 申请日:20140805
共 50 条
[1]
互连结构的形成方法 [P]. 
张海洋 ;
张城龙 .
中国专利 :CN104217991A ,2014-12-17
[2]
互连结构及其形成方法 [P]. 
于海龙 ;
谭晶晶 ;
荆学珍 .
中国专利 :CN112687610A ,2021-04-20
[3]
互连结构及其形成方法 [P]. 
周鸣 .
中国专利 :CN105336674A ,2016-02-17
[4]
互连结构的形成方法 [P]. 
韩秋华 .
中国专利 :CN104347488B ,2015-02-11
[5]
互连结构的形成方法 [P]. 
张海洋 ;
张城龙 ;
周俊卿 .
中国专利 :CN104143528A ,2014-11-12
[6]
互连结构的形成方法 [P]. 
张海洋 ;
任佳 .
中国专利 :CN104979270B ,2015-10-14
[7]
互连结构的形成方法 [P]. 
张海洋 ;
任佳 .
中国专利 :CN104979271A ,2015-10-14
[8]
互连结构的形成方法 [P]. 
周鸣 .
中国专利 :CN105226008A ,2016-01-06
[9]
互连结构的形成方法 [P]. 
周鸣 .
中国专利 :CN105304554B ,2016-02-03
[10]
互连结构的形成方法 [P]. 
孙武 ;
尹晓明 ;
张海洋 ;
黄怡 .
中国专利 :CN102142393A ,2011-08-03
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