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互连结构及其形成方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201910991909.0
申请日：
2019-10-17
公开(公告)号：
CN112687610A
公开(公告)日：
2021-04-20
发明(设计)人：
于海龙
谭晶晶
荆学珍
申请人：
申请人地址：
100176 北京市大兴区文昌大道18号
IPC主分类号：
H01L21768
IPC分类号：
H01L23538
代理机构：
北京市一法律师事务所 11654
代理人：
刘荣娟
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-07 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20191017 |
| 2021-04-20 | 公开 | 公开 |