互连结构及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910197091.1

申请日：

2009-10-13

公开(公告)号：

CN102044524A

公开(公告)日：

2011-05-04

发明(设计)人：

吴汉明高大为杨士宁

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L23532

IPC分类号：

H01L21768

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李丽

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-06-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101080110875 IPC(主分类):H01L 23/532 专利申请号:2009101970911 申请日:20091013
2020-10-02	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 23/532 申请日:20091013 授权公告日:20160316 终止日期:20191013
2011-05-04	公开	公开
2016-03-16	授权	授权
2012-11-28	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101474142877 IPC(主分类):H01L 23/532 专利申请号:2009101970911 变更事项:申请人变更前权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更后权利人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江路18号变更事项:申请人变更前权利人:无变更后权利人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司登记生效日:20121029

共 50 条

[1]

互连结构及其形成方法 [P].

钟汇才 ;

梁擎擎 ;

朱慧珑 ;

赵超 .

中国专利 :CN102738117B ,2012-10-17

[2]

互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN103474416A ,2013-12-25

[3]

互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105633010A ,2016-06-01

[4]

互连结构及其形成方法 [P].

王菘豊 ;

梁顺鑫 ;

张容浩 ;

朱家宏 ;

林耕竹 .

中国专利 :CN111180384A ,2020-05-19

[5]

互连结构及其形成方法 [P].

周俊卿 ;

张城龙 .

中国专利 :CN105719999A ,2016-06-29

[6]

互连结构及其形成方法 [P].

王菘豊 ;

梁顺鑫 ;

张容浩 ;

朱家宏 ;

林耕竹 .

中国专利 :CN111180384B ,2024-02-23

[7]

互连结构及其形成方法 [P].

邓浩 .

中国专利 :CN105140172A ,2015-12-09

[8]

互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105336725A ,2016-02-17

[9]

互连结构及其形成方法 [P].

王菘豊 ;

奧野泰利 .

中国专利 :CN109860102A ,2019-06-07

[10]

互连结构及其形成方法 [P].

杨罡 .

中国专利 :CN111627855B ,2020-09-04

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