互连结构及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410363410.2

申请日：

2014-07-28

公开(公告)号：

CN105336674A

公开(公告)日：

2016-02-17

发明(设计)人：

周鸣

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23532

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

高静;骆苏华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-30	授权	授权
2016-02-17	公开	公开
2016-03-16	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101650134922 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2014103634102 申请日:20140728

共 50 条

[1]

互连结构及其形成方法 [P].

H·L·巴克斯 ;

刘晃 ;

J·T·凯利赫尔 .

中国专利 :CN1976020A ,2007-06-06

[2]

互连结构及其形成方法 [P].

于海龙 ;

谭晶晶 ;

荆学珍 .

中国专利 :CN112687610A ,2021-04-20

[3]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN104217991A ,2014-12-17

[4]

互连结构的形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105336678B ,2016-02-17

[5]

互连结构及其形成方法 [P].

蔡纾婷 ;

林政贤 ;

庄俊杰 ;

杨敦年 ;

刘人诚 ;

洪丰基 .

中国专利 :CN104051422A ,2014-09-17

[6]

互连结构及其形成方法 [P].

高理想 ;

孙茂 ;

张宏光 .

中国专利 :CN118629952A ,2024-09-10

[7]

互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105336675B ,2016-02-17

[8]

互连结构及其形成方法 [P].

S·V·源 ;

M·莱恩 ;

S·M·盖茨 ;

刘小虎 ;

V·J·麦加海伊 ;

S·C·梅赫塔 ;

T·M·肖 .

中国专利 :CN1783479A ,2006-06-07

[9]

互连结构及其形成方法 [P].

尼古拉斯·C.·弗勒 ;

蒂莫西·约瑟夫·达尔顿 ;

萨特扬纳拉扬纳·文卡塔·尼塔 .

中国专利 :CN101000904A ,2007-07-18

[10]

互连结构及其形成方法 [P].

杨罡 .

中国专利 :CN111627855B ,2020-09-04

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