互连结构及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610148518.5

申请日：

2006-11-17

公开(公告)号：

CN1976020A

公开(公告)日：

2007-06-06

发明(设计)人：

H·L·巴克斯刘晃 J·T·凯利赫尔

申请人：

申请人地址：

美国纽约

IPC主分类号：

H01L23522

IPC分类号：

H01L21768

代理机构：

北京市中咨律师事务所

代理人：

于静;李峥

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-06-03	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回
2007-08-01	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-06-06	公开	公开

共 50 条

[1]

互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105336675B ,2016-02-17

[2]

互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105336674A ,2016-02-17

[3]

互连结构及其形成方法 [P].

徐建华 ;

邓浩 .

中国专利 :CN106876325A ,2017-06-20

[4]

互连结构及其形成方法 [P].

沈哲敏 ;

李广宁 .

中国专利 :CN104425362B ,2015-03-18

[5]

互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105336673A ,2016-02-17

[6]

互连结构及其形成方法 [P].

于海龙 ;

谭晶晶 ;

荆学珍 .

中国专利 :CN112687610A ,2021-04-20

[7]

金属互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104851835B ,2015-08-19

[8]

形成互连结构的方法及其形成的互连结构 [P].

杨智超 ;

K·K·H·黄 ;

N·R·克林科 ;

C·C·帕克斯 .

中国专利 :CN100495698C ,2007-09-19

[9]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN104217991A ,2014-12-17

[10]

互连结构的形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105244310A ,2016-01-13

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