互连结构及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310401313.3

申请日：

2013-09-05

公开(公告)号：

CN104425362B

公开(公告)日：

2015-03-18

发明(设计)人：

沈哲敏李广宁

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23522

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-03-18	公开	公开
2018-07-10	授权	授权
2015-04-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101605749450 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2013104013133 申请日:20130905

共 50 条

[1]

互连结构及其形成方法 [P].

徐建华 ;

邓浩 .

中国专利 :CN106876325A ,2017-06-20

[2]

互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105336675B ,2016-02-17

[3]

互连结构及其形成方法 [P].

H·L·巴克斯 ;

刘晃 ;

J·T·凯利赫尔 .

中国专利 :CN1976020A ,2007-06-06

[4]

互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105336673A ,2016-02-17

[5]

金属互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104851835B ,2015-08-19

[6]

互连结构的形成方法 [P].

徐建华 ;

杨小军 .

中国专利 :CN106876324A ,2017-06-20

[7]

金属互连结构的形成方法及金属互连结构 [P].

谭发龙 ;

吴卓杰 .

中国专利 :CN118692987B ,2024-12-20

[8]

金属互连结构的形成方法及金属互连结构 [P].

谭发龙 ;

吴卓杰 .

中国专利 :CN118692987A ,2024-09-24

[9]

金属互连结构的形成方法 [P].

吴明 ;

林宗贤 ;

吴孝哲 ;

吴龙江 ;

赵培培 .

中国专利 :CN110112098A ,2019-08-09

[10]

无孔隙金属互连结构及其形成方法 [P].

安正勋 ;

李孝钟 ;

李京泰 ;

李敬雨 ;

李守根 ;

徐锋锡 .

中国专利 :CN100392853C ,2005-02-16

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