互连结构的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510920012.0

申请日：

2015-12-10

公开(公告)号：

CN106876324A

公开(公告)日：

2017-06-20

发明(设计)人：

徐建华杨小军

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

吴圳添;吴敏

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-25	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/768 申请公布日:20170620
2017-06-20	公开	公开
2017-07-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101734180024 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2015109200120 申请日:20151210

共 50 条

[1]

互连结构及其形成方法 [P].

徐建华 ;

邓浩 .

中国专利 :CN106876325A ,2017-06-20

[2]

互连结构的形成方法 [P].

刘继全 .

中国专利 :CN105990216A ,2016-10-05

[3]

金属互连结构的形成方法及金属互连结构 [P].

谭发龙 ;

吴卓杰 .

中国专利 :CN118692987B ,2024-12-20

[4]

金属互连结构的形成方法及金属互连结构 [P].

谭发龙 ;

吴卓杰 .

中国专利 :CN118692987A ,2024-09-24

[5]

金属互连结构的形成方法 [P].

吴明 ;

林宗贤 ;

吴孝哲 ;

吴龙江 ;

赵培培 .

中国专利 :CN110112098A ,2019-08-09

[6]

互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105336675B ,2016-02-17

[7]

互连结构及其形成方法 [P].

沈哲敏 ;

李广宁 .

中国专利 :CN104425362B ,2015-03-18

[8]

互连结构及其形成方法 [P].

H·L·巴克斯 ;

刘晃 ;

J·T·凯利赫尔 .

中国专利 :CN1976020A ,2007-06-06

[9]

互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105336673A ,2016-02-17

[10]

金属互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104851835B ,2015-08-19

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