互连结构的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510046887.2

申请日：

2015-01-29

公开(公告)号：

CN105990216A

公开(公告)日：

2016-10-05

发明(设计)人：

刘继全

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

高静;骆苏华

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-08	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/768 申请公布日:20161005
2016-10-05	公开	公开
2016-11-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101686681338 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2015100468872 申请日:20150129

共 50 条

[1]

互连结构的形成方法 [P].

黄麟淯 ;

游力蓁 ;

张家豪 ;

庄正吉 ;

林佑明 ;

王志豪 .

中国专利 :CN112750759A ,2021-05-04

[2]

互连结构的形成方法 [P].

徐建华 ;

杨小军 .

中国专利 :CN106876324A ,2017-06-20

[3]

互连结构的形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105226008A ,2016-01-06

[4]

互连结构的形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105336678B ,2016-02-17

[5]

互连结构的形成方法 [P].

邢滨 ;

张城龙 .

中国专利 :CN106158731B ,2016-11-23

[6]

互连结构及其形成方法 [P].

陈丙晨 ;

吴佳宏 ;

张文广 .

中国专利 :CN115148664A ,2022-10-04

[7]

互连结构及其形成方法 [P].

金吉松 .

中国专利 :CN114068451A ,2022-02-18

[8]

互连结构及其形成方法 [P].

邓浩 ;

谷勋 ;

周峰 ;

杨小军 .

中国专利 :CN108063117B ,2018-05-22

[9]

互连结构及其形成方法 [P].

徐建华 ;

邓浩 .

中国专利 :CN106876325A ,2017-06-20

[10]

互连结构及其形成方法 [P].

林翔伟 .

中国专利 :CN115472557A ,2022-12-13

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