互连结构及其形成方法

被引：0

申请号：

CN202210771772.X

申请日：

2022-06-30

公开(公告)号：

CN115148664A

公开(公告)日：

2022-10-04

发明(设计)人：

陈丙晨吴佳宏张文广

申请人：

申请人地址：

201821 上海市嘉定区叶城路1288号6幢JT2216室

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

顾丹丽

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-10-04	公开	公开

共 50 条

[1]

互连结构及其形成方法 [P].

金吉松 .

中国专利 :CN114068451A ,2022-02-18

[2]

互连结构及其形成方法 [P].

邓浩 ;

谷勋 ;

周峰 ;

杨小军 .

中国专利 :CN108063117B ,2018-05-22

[3]

互连结构及其形成方法 [P].

徐建华 ;

邓浩 .

中国专利 :CN106876325A ,2017-06-20

[4]

互连结构及其形成方法 [P].

林翔伟 .

中国专利 :CN115472557A ,2022-12-13

[5]

互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN104979272A ,2015-10-14

[6]

互连结构及其形成方法 [P].

于海龙 ;

荆学珍 ;

张浩 ;

肖张茹 .

中国专利 :CN114078745A ,2022-02-22

[7]

互连结构及其形成方法 [P].

谢志勇 .

中国专利 :CN105990220A ,2016-10-05

[8]

互连结构及其形成方法 [P].

金书正 ;

高铭远 ;

牛振仪 ;

林彦均 ;

彭馨莹 ;

张智翔 ;

李佩璇 ;

林其锋 ;

纪志坚 ;

苏鸿文 .

中国专利 :CN114823494A ,2022-07-29

[9]

互连结构及其形成方法 [P].

林伯俊 ;

林毓超 ;

李东颖 .

中国专利 :CN113161287A ,2021-07-23

[10]

互连结构及其形成方法 [P].

金吉松 .

中国专利 :CN114068453A ,2022-02-18

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