互连结构及其形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410135922.3

申请日：

2014-04-04

公开(公告)号：

CN104979272A

公开(公告)日：

2015-10-14

发明(设计)人：

周鸣

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23532

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-11-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101633320699 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2014101359223 申请日:20140404
2015-10-14	公开	公开
2018-03-30	授权	授权

共 50 条

[1]

互连结构及其形成方法 [P].

金吉松 .

中国专利 :CN114068453A ,2022-02-18

[2]

金属互连结构及其形成方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN110970352A ,2020-04-07

[3]

互连结构及其形成方法 [P].

陈丙晨 ;

吴佳宏 ;

张文广 .

中国专利 :CN115148664A ,2022-10-04

[4]

互连结构及其形成方法 [P].

金吉松 .

中国专利 :CN114068451A ,2022-02-18

[5]

互连结构及其形成方法 [P].

邓浩 ;

谷勋 ;

周峰 ;

杨小军 .

中国专利 :CN108063117B ,2018-05-22

[6]

互连结构及其形成方法 [P].

徐建华 ;

邓浩 .

中国专利 :CN106876325A ,2017-06-20

[7]

互连结构及其形成方法 [P].

林翔伟 .

中国专利 :CN115472557A ,2022-12-13

[8]

互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105990217B ,2016-10-05

[9]

互连结构及其形成方法 [P].

谢志勇 .

中国专利 :CN105990220A ,2016-10-05

[10]

互连结构及其形成方法 [P].

朱克宝 ;

张黎 ;

黄千千 ;

李业超 ;

黄仁德 .

中国专利 :CN120767250A ,2025-10-10

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