互连结构的形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410301170.3

申请日：

2014-06-27

公开(公告)号：

CN105226008A

公开(公告)日：

2016-01-06

发明(设计)人：

周鸣

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

高静;骆苏华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-07-10	授权	授权
2016-02-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101644505353 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2014103011703 申请日:20140627
2016-01-06	公开	公开

共 50 条

[1]

互连结构的形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105304554B ,2016-02-03

[2]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

任佳 .

中国专利 :CN104979271A ,2015-10-14

[3]

互连结构的形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105336678B ,2016-02-17

[4]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 ;

周俊卿 .

中国专利 :CN104143528A ,2014-11-12

[5]

互连结构的形成方法 [P].

黄麟淯 ;

游力蓁 ;

张家豪 ;

庄正吉 ;

林佑明 ;

王志豪 .

中国专利 :CN112750759A ,2021-05-04

[6]

互连结构的形成方法 [P].

肖德元 .

中国专利 :CN105304553B ,2016-02-03

[7]

互连结构的形成方法 [P].

孔秋东 ;

简中祥 ;

杨熙 .

中国专利 :CN102751236A ,2012-10-24

[8]

互连结构的形成方法 [P].

刘继全 .

中国专利 :CN105990216A ,2016-10-05

[9]

互连结构的形成方法 [P].

邢滨 ;

张城龙 .

中国专利 :CN106158731B ,2016-11-23

[10]

互连结构的形成方法 [P].

孙武 ;

尹晓明 ;

张海洋 ;

黄怡 .

中国专利 :CN102142393A ,2011-08-03

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