一种SiC外延表面的预处理及外延生长方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710841324.1

申请日：

2017-09-18

公开(公告)号：

CN109518271A

公开(公告)日：

2019-03-26

发明(设计)人：

三重野文健

申请人：

申请人地址：

201306 上海市浦东新区泥城镇新城路2号24幢C1350室

IPC主分类号：

C30B2502

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

余明伟

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-27	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C30B 25/02 申请公布日:20190326
2019-04-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 25/02 申请日:20170918
2019-03-26	公开	公开

共 50 条

[1]

外延生长方法及外延生长装置、外延设备 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN118814269A ,2024-10-22

[2]

外延生长方法及外延生长装置、外延设备 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN119685923A ,2025-03-25

[3]

外延生长方法及外延生长装置 [P].

刘晨阳 ;

王力 .

中国专利 :CN119640396A ,2025-03-18

[4]

外延生长设备及外延生长方法 [P].

胡彬 ;

王朋 ;

段焕涛 ;

李文 .

中国专利 :CN118166419A ,2024-06-11

[5]

外延生长方法及外延片 [P].

王娜 ;

俎世琦 ;

金柱炫 .

中国专利 :CN119913611A ,2025-05-02

[6]

外延生长方法及外延膜 [P].

屈鹏霏 ;

金鹏 ;

王镇 ;

韩煦 ;

王占国 .

中国专利 :CN117373904A ,2024-01-09

[7]

外延生长方法及外延片 [P].

何斌斌 ;

俎世琦 .

中国专利 :CN119351997A ,2025-01-24

[8]

外延生长方法及外延结构 [P].

王明华 .

中国专利 :CN120767185A ,2025-10-10

[9]

外延生长方法及外延结构 [P].

王明华 .

中国专利 :CN120637203A ,2025-09-12

[10]

一种外延生长方法及外延生长设备、外延晶圆 [P].

梁鹏欢 .

中国专利 :CN118814262A ,2024-10-22

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