一种ITO靶材放置装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821322612.2

申请日：

2018-08-16

公开(公告)号：

CN208584536U

公开(公告)日：

2019-03-08

发明(设计)人：

刘洪浩

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市相城区太平街道金澄路88号

IPC主分类号：

B25H304

IPC分类号：

代理机构：

苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙) 32268

代理人：

冯现伟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-08	授权	授权
2022-07-29	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B25H 3/04 申请日:20180816 授权公告日:20190308 终止日期:20210816

共 50 条

[1]

一种ITO靶材 [P].

胡业新 .

中国专利 :CN203782225U ,2014-08-20

[2]

一种ITO靶材压紧装置 [P].

刘洪浩 .

中国专利 :CN208586350U ,2019-03-08

[3]

一种便于平面靶材翻转的靶材放置装置 [P].

念雯雯 ;

李帅方 ;

李金龙 .

中国专利 :CN214777321U ,2021-11-19

[4]

一种ITO靶材热成型设备 [P].

唐智勇 ;

肖斌 .

中国专利 :CN212979368U ,2021-04-16

[5]

一种ITO靶材的烧结装置 [P].

刘洪浩 .

中国专利 :CN208704444U ,2019-04-05

[6]

一种ITO靶材涂铟装置 [P].

王振宏 ;

王志强 ;

石煜 ;

徐军伟 ;

曾探 .

中国专利 :CN220503203U ,2024-02-20

[7]

一种ITO靶材解绑装置 [P].

姚远 ;

杜宝珩 ;

郭朋 .

中国专利 :CN209957865U ,2020-01-17

[8]

一种ITO靶材原料混合装置 [P].

刘洪浩 .

中国专利 :CN208911959U ,2019-05-31

[9]

一种ITO靶材的搬运装置 [P].

刘洪浩 .

中国专利 :CN208585262U ,2019-03-08

[10]

一种收集ITO靶材的专用装置 [P].

唐安泰 .

中国专利 :CN213739649U ,2021-07-20

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