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一种ITO靶材涂铟装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202321421615.2
申请日：
2023-06-06
公开(公告)号：
CN220503203U
公开(公告)日：
2024-02-20
发明(设计)人：
王振宏
王志强
石煜
徐军伟
曾探
申请人：
芜湖映日科技股份有限公司
申请人地址：
241000 安徽省芜湖市(安徽)自由贸易试验区芜湖片区衡山路南侧、凤鸣湖北路西侧1#厂房
IPC主分类号：
C23C26/02
IPC分类号：
C23C14/34
代理机构：
南京正联知识产权代理有限公司 32243
代理人：
杨静
法律状态：
授权
国省代码：
河北省
唐山市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-02-20 | 授权 | 授权 |