一种控制旋转靶材超声涂铟探头升降装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311451056.4

申请日：

2023-10-31

公开(公告)号：

CN117464162A

公开(公告)日：

2024-01-30

发明(设计)人：

黄有昌李萍萍项天成韩贤昆王超钟小华

申请人：

先导薄膜材料（安徽）有限公司

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区龙子湖路658号

IPC主分类号：

B23K20/26

IPC分类号：

C23C26/02 C23C14/34 B23K20/10

代理机构：

合肥正则元起专利代理事务所(普通合伙) 34160

代理人：

夏雷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-02-20	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B23K 20/26申请日:20231031
2024-01-30	公开	公开

共 50 条

[1]

一种旋转靶超声涂铟设备 [P].

陈明恒 .

中国专利 :CN212051626U ,2020-12-01

[2]

一种旋转靶材内侧全自动高速涂铟的装置 [P].

刘洪强 ;

刘秉宁 ;

孔伟华 .

中国专利 :CN222535313U ,2025-02-28

[3]

一种ITO靶材涂铟装置 [P].

王振宏 ;

王志强 ;

石煜 ;

徐军伟 ;

曾探 .

中国专利 :CN220503203U ,2024-02-20

[4]

一种旋转靶材表面打磨装置 [P].

陈标 ;

郭朋 ;

刘所心 .

中国专利 :CN213053964U ,2021-04-27

[5]

一种旋转靶材自动超铟设备 [P].

王振宏 ;

马建保 ;

曾墩风 ;

盛明亮 .

中国专利 :CN118497750A ,2024-08-16

[6]

一种旋转靶材装箱装置 [P].

王震 ;

杨景文 ;

余竹坤 .

中国专利 :CN221660811U ,2024-09-06

[7]

一种旋转靶材涂布辅助装置 [P].

武前争 ;

吕过 ;

韩新涛 ;

巩丰瑞 .

中国专利 :CN221657033U ,2024-09-06

[8]

一种氧化铟锡旋转靶材的烧结方法 [P].

陆映东 ;

武建良 ;

马超宁 ;

黄誓成 .

中国专利 :CN107459345B ,2017-12-12

[9]

一种氧化铟锡旋转靶材的制备方法 [P].

黄誓成 ;

何建进 ;

陆映东 .

中国专利 :CN103274699A ,2013-09-04

[10]

一种铜铟镓旋转靶材的制备方法 [P].

徐从康 .

中国专利 :CN103317124A ,2013-09-25

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