一种抛光转盘驱动装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201911410572.6
申请日
2019-12-31
公开(公告)号
CN111070084A
公开(公告)日
2020-04-28
发明(设计)人
杨兆明 颜凯 中原司
申请人
申请人地址
314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁大道8号海宁科技绿洲1号楼105室
IPC主分类号
B24B41047
IPC分类号
B24B3704 B24B5500
代理机构
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人
刘金凤;赵燕力
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
一种抛光转盘驱动装置 [P]. 
杨兆明 ;
颜凯 ;
中原司 .
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[2]
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金爱军 ;
陶世峰 ;
周春文 ;
周列 .
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[3]
一种转盘驱动装置 [P]. 
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[4]
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颜凯 ;
中原司 .
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[7]
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[8]
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[9]
一种抛光头驱动装置及抛光设备 [P]. 
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颜凯 ;
中原司 .
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[10]
一种转盘驱动装置 [P]. 
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