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一种抛光头驱动装置及抛光设备
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN201922466727.X
申请日
:
2019-12-31
公开(公告)号
:
CN211465929U
公开(公告)日
:
2020-09-11
发明(设计)人
:
杨兆明
颜凯
中原司
申请人
:
申请人地址
:
314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区隆兴路118号内主办公楼3楼370室
IPC主分类号
:
B24B2902
IPC分类号
:
B24B4106
B24B4100
B24B2700
代理机构
:
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人
:
胡彬
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2020-09-11
授权
授权
共 50 条
[1]
一种抛光头驱动装置及抛光设备
[P].
杨兆明
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杨兆明
;
颜凯
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颜凯
;
中原司
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中原司
.
中国专利
:CN111085931A
,2020-05-01
[2]
一种抛光头结构及抛光头驱动装置
[P].
张为强
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机构:
北京晶亦精微科技股份有限公司
北京晶亦精微科技股份有限公司
张为强
;
王嘉琪
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机构:
北京晶亦精微科技股份有限公司
北京晶亦精微科技股份有限公司
王嘉琪
;
廉金武
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机构:
北京晶亦精微科技股份有限公司
北京晶亦精微科技股份有限公司
廉金武
;
赵磊
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机构:
北京晶亦精微科技股份有限公司
北京晶亦精微科技股份有限公司
赵磊
.
中国专利
:CN222726389U
,2025-04-08
[3]
一种抛光头结构及抛光头驱动装置
[P].
尹影
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机构:
北京晶亦精微科技股份有限公司
北京晶亦精微科技股份有限公司
尹影
;
张为强
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机构:
北京晶亦精微科技股份有限公司
北京晶亦精微科技股份有限公司
张为强
;
赵磊
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北京晶亦精微科技股份有限公司
北京晶亦精微科技股份有限公司
赵磊
;
王嘉琪
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北京晶亦精微科技股份有限公司
北京晶亦精微科技股份有限公司
王嘉琪
;
廉金武
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北京晶亦精微科技股份有限公司
北京晶亦精微科技股份有限公司
廉金武
.
中国专利
:CN222818632U
,2025-05-02
[4]
一种抛光头结构及抛光头驱动装置
[P].
张为强
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机构:
北京晶亦精微科技股份有限公司
北京晶亦精微科技股份有限公司
张为强
;
王嘉琪
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机构:
北京晶亦精微科技股份有限公司
北京晶亦精微科技股份有限公司
王嘉琪
;
廉金武
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机构:
北京晶亦精微科技股份有限公司
北京晶亦精微科技股份有限公司
廉金武
;
赵磊
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机构:
北京晶亦精微科技股份有限公司
北京晶亦精微科技股份有限公司
赵磊
.
中国专利
:CN118456275A
,2024-08-09
[5]
一种抛光头及抛光设备
[P].
吕绍沈
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机构:
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
吕绍沈
;
王明
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机构:
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
王明
;
贺云鹏
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机构:
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
贺云鹏
.
中国专利
:CN120620064A
,2025-09-12
[6]
抛光头组件、控制装置、抛光设备及抛光方法
[P].
李娜
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机构:
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
李娜
;
贺云鹏
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机构:
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
西安奕斯伟材料科技股份有限公司
贺云鹏
.
中国专利
:CN120680427A
,2025-09-23
[7]
一种抛光头及抛光设备
[P].
徐贤强
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机构:
万载南极光电子科技有限公司
万载南极光电子科技有限公司
徐贤强
;
吕金峰
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机构:
万载南极光电子科技有限公司
万载南极光电子科技有限公司
吕金峰
;
潘连兴
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机构:
万载南极光电子科技有限公司
万载南极光电子科技有限公司
潘连兴
.
中国专利
:CN221248370U
,2024-07-02
[8]
一种抛光头及抛光设备
[P].
梁同帅
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机构:
北京晶亦精微科技股份有限公司
北京晶亦精微科技股份有限公司
梁同帅
;
刘福强
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机构:
北京晶亦精微科技股份有限公司
北京晶亦精微科技股份有限公司
刘福强
;
周庆亚
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机构:
北京晶亦精微科技股份有限公司
北京晶亦精微科技股份有限公司
周庆亚
;
王占想
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机构:
北京晶亦精微科技股份有限公司
北京晶亦精微科技股份有限公司
王占想
;
刘家成
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机构:
北京晶亦精微科技股份有限公司
北京晶亦精微科技股份有限公司
刘家成
.
中国专利
:CN120395681A
,2025-08-01
[9]
一种抛光头及抛光装置
[P].
丁彦荣
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丁彦荣
;
张月
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张月
;
杨涛
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杨涛
;
卢一泓
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卢一泓
;
刘青
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刘青
.
中国专利
:CN111451928A
,2020-07-28
[10]
保持器、抛光头组件及抛光设备
[P].
请求不公布姓名
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机构:
星钥半导体(武汉)有限公司
星钥半导体(武汉)有限公司
请求不公布姓名
.
中国专利
:CN223057442U
,2025-07-04
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