保持器、抛光头组件及抛光设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421738908.8

申请日：

2024-07-22

公开(公告)号：

CN223057442U

公开(公告)日：

2025-07-04

发明(设计)人：

请求不公布姓名

申请人：

星钥半导体（武汉）有限公司

申请人地址：

430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来科技城龙山南街6号展想新思中心1号楼8楼808单元

IPC主分类号：

B24B37/30

IPC分类号：

B24B41/06

代理机构：

珠海智专专利商标代理有限公司 44262

代理人：

林煜

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-04	授权	授权

共 50 条

[1]

抛光头组件、控制装置、抛光设备及抛光方法 [P].

李娜 ;

贺云鹏 .

中国专利 :CN120680427A ,2025-09-23

[2]

抛光头组件 [P].

路新春 ;

王同庆 ;

何永勇 .

中国专利 :CN202174483U ,2012-03-28

[3]

抛光头以及抛光设备 [P].

陈杰 ;

王世军 ;

刘满生 ;

张卫平 .

中国专利 :CN212947166U ,2021-04-13

[4]

曲面壳体抛光头、抛光器件及抛光设备 [P].

李倩倩 ;

陈亚兵 ;

付弦 ;

尹振武 ;

许仁 .

中国专利 :CN216883344U ,2022-07-05

[5]

抛光头组件及基板抛光方法 [P].

尹影 ;

庞浩 ;

李婷 ;

边润立 ;

司马超 ;

于然 .

中国专利 :CN117381661A ,2024-01-12

[6]

抛光头和抛光设备 [P].

杨易 ;

刘鑫博 ;

程子政 ;

李润豪 .

中国专利 :CN223339155U ,2025-09-16

[7]

抛光头和抛光设备 [P].

张舸 .

中国专利 :CN115890478B ,2024-11-22

[8]

抛光方法、抛光头、最终抛光设备及硅片 [P].

贺云鹏 ;

王明 .

中国专利 :CN119748312A ,2025-04-04

[9]

抛光头、最终抛光设备及最终抛光方法 [P].

贺云鹏 ;

王明 .

中国专利 :CN119635505A ,2025-03-18

[10]

抛光头及抛光装置 [P].

马成斌 ;

季文明 .

中国专利 :CN215092904U ,2021-12-10

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