抛光头和抛光设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211713309.6

申请日：

2022-12-29

公开(公告)号：

CN115890478B

公开(公告)日：

2024-11-22

发明(设计)人：

张舸

申请人：

西安奕斯伟材料科技股份有限公司

申请人地址：

710065 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室

IPC主分类号：

B24B37/10

IPC分类号：

B24B37/30 B24B37/34 B24B57/02

代理机构：

西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253

代理人：

侯丽丽;姚勇政

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-22	授权	授权

共 50 条

[1]

抛光头和抛光设备 [P].

杨易 ;

刘鑫博 ;

程子政 ;

李润豪 .

中国专利 :CN223339155U ,2025-09-16

[2]

抛光头以及抛光设备 [P].

陈杰 ;

王世军 ;

刘满生 ;

张卫平 .

中国专利 :CN212947166U ,2021-04-13

[3]

一种抛光头和抛光设备 [P].

白宗权 ;

陈祖庆 ;

许涛 .

中国专利 :CN114260820A ,2022-04-01

[4]

一种抛光头和抛光设备 [P].

李昊 ;

刘永亮 ;

胡斌 .

中国专利 :CN223558156U ,2025-11-18

[5]

抛光头、抛光设备以及抛光头的使用方法 [P].

杨师 ;

费玖海 ;

李玉敏 ;

刘福强 ;

佀海燕 .

中国专利 :CN109202697A ,2019-01-15

[6]

抛光头和化学机械抛光设备 [P].

赵德文 ;

路新春 .

中国专利 :CN109048627A ,2018-12-21

[7]

邢闯 ;

崔超 ;

魏佳勇 ;

沈长亮 ;

王杰 ;

马继红 .

中国专利 :CN206883381U ,2018-01-16

[8]

曲面壳体抛光头、抛光器件及抛光设备 [P].

李倩倩 ;

陈亚兵 ;

付弦 ;

尹振武 ;

许仁 .

中国专利 :CN216883344U ,2022-07-05

[9]

抛光方法、抛光头、最终抛光设备及硅片 [P].

贺云鹏 ;

王明 .

中国专利 :CN119748312A ,2025-04-04

[10]

晶片抛光头、晶片抛光头的制造方法以及包括该抛光头的晶片抛光设备 [P].

成在哲 .

韩国专利 :CN118559601A ,2024-08-30

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