一种抛光头结构及抛光头驱动装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202421230664.2
申请日
2024-05-31
公开(公告)号
CN222726389U
公开(公告)日
2025-04-08
发明(设计)人
张为强 王嘉琪 廉金武 赵磊
申请人
北京晶亦精微科技股份有限公司
申请人地址
100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101
IPC主分类号
B24B37/11
IPC分类号
B24B37/10 B24B37/34 B24B49/00 B24B47/12
代理机构
北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250
代理人
刘贺秋
法律状态
授权
国省代码
安徽省 宣城市
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共 50 条
[1]
一种抛光头结构及抛光头驱动装置 [P]. 
尹影 ;
张为强 ;
赵磊 ;
王嘉琪 ;
廉金武 .
中国专利 :CN222818632U ,2025-05-02
[2]
一种抛光头结构及抛光头驱动装置 [P]. 
张为强 ;
王嘉琪 ;
廉金武 ;
赵磊 .
中国专利 :CN118456275A ,2024-08-09
[3]
抛光头真空吸附结构及抛光头 [P]. 
刘桂勇 ;
宋士佳 ;
李琳琳 .
中国专利 :CN209062814U ,2019-07-05
[4]
抛光头及抛光装置 [P]. 
马成斌 ;
季文明 .
中国专利 :CN215092904U ,2021-12-10
[5]
一种抛光头驱动装置及抛光设备 [P]. 
杨兆明 ;
颜凯 ;
中原司 .
中国专利 :CN211465929U ,2020-09-11
[6]
一种抛光头驱动装置及抛光设备 [P]. 
杨兆明 ;
颜凯 ;
中原司 .
中国专利 :CN111085931A ,2020-05-01
[7]
一种抛光头及抛光装置 [P]. 
张金 ;
栗建中 .
中国专利 :CN221338043U ,2024-07-16
[8]
一种抛光头及抛光装置 [P]. 
丁彦荣 ;
张月 ;
杨涛 ;
卢一泓 ;
刘青 .
中国专利 :CN111451928A ,2020-07-28
[9]
抛光头 [P]. 
陈菊芳 .
中国专利 :CN204053765U ,2014-12-31
[10]
抛光头驱动机构 [P]. 
张世宏 .
中国专利 :CN212351628U ,2021-01-15