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金属配线蚀刻液组合物及其应用
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011213659.7
申请日：
2020-11-04
公开(公告)号：
CN112410789A
公开(公告)日：
2021-02-26
发明(设计)人：
刘净
申请人：
申请人地址：
518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
IPC主分类号：
C23F118
IPC分类号：
C23F126
C23F102
H01L213213
代理机构：
深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570
代理人：
何辉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-26 | 公开 | 公开 |
| 2021-03-16 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/18 申请日:20201104 |