金属线层的蚀刻液组合物及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011110158.6

申请日：

2020-10-16

公开(公告)号：

CN112301348A

公开(公告)日：

2021-02-02

发明(设计)人：

刘净

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

IPC主分类号：

C23F118

IPC分类号：

C23F126 C23F102 C09K1308 C09K1310 H01L2177 H01L2712

代理机构：

深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570

代理人：

徐世俊

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-02	公开	公开
2022-12-16	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23F 1/18 申请公布日:20210202
2021-02-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/18 申请日:20201016

共 50 条

[1]

金属线蚀刻液组合物 [P].

具炳秀 ;

朴民奎 .

中国专利 :CN108203830A ,2018-06-26

[2]

金属配线蚀刻液组合物及其应用 [P].

刘净 .

中国专利 :CN112410789A ,2021-02-26

[3]

钛层或含钛层的蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

佐佐木辽 ;

高桥秀树 ;

横山大雅 .

中国专利 :CN110462799A ,2019-11-15

[4]

铜系金属膜的蚀刻液组合物及其应用 [P].

梁承宰 ;

朴升煜 ;

田玹守 .

中国专利 :CN107475716B ,2017-12-15

[5]

铜系金属膜的蚀刻液组合物及其应用 [P].

田玹守 ;

金相泰 ;

林大成 ;

崔容硕 .

中国专利 :CN107365996A ,2017-11-21

[6]

用于液晶显示器的阵列基板及其制造方法，蚀刻液组合物和形成金属配线的方法 [P].

李铉奎 ;

李石 ;

郑敬燮 ;

李恩远 ;

金镇成 .

中国专利 :CN103107130A ,2013-05-15

[7]

液晶显示装置用阵列基板的制造方法及用于其的铜系金属膜蚀刻液组合物 [P].

郑敬燮 ;

朴镛云 ;

梁圭亨 ;

金相正 .

韩国专利 :CN111755461B ,2024-07-26

[8]

液晶显示装置用阵列基板的制造方法及用于其的铜系金属膜蚀刻液组合物 [P].

郑敬燮 ;

朴镛云 ;

梁圭亨 ;

金相正 .

中国专利 :CN111755461A ,2020-10-09

[9]

蚀刻液组合物、蚀刻液及其制备方法 [P].

武文东 ;

侯军 ;

赵晓莹 ;

曲延琦 ;

田继升 .

中国专利 :CN116023945B ,2024-06-07

[10]

用于形成金属线的蚀刻组合物 [P].

林玟基 ;

李昔准 ;

张尚勋 ;

朴英哲 .

中国专利 :CN102471898B ,2012-05-23

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