蚀刻液组合物、蚀刻液及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211689609.5

申请日：

2022-12-27

公开(公告)号：

CN116023945B

公开(公告)日：

2024-06-07

发明(设计)人：

武文东侯军赵晓莹曲延琦田继升

申请人：

浙江奥首材料科技有限公司

申请人地址：

324012 浙江省衢州市杜鹃路36号

IPC主分类号：

C09K13/08

IPC分类号：

C09K13/10

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省衢州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-07	授权	授权

共 50 条

[1]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

河野良 ;

清水寿和 .

中国专利 :CN105297022A ,2016-02-03

[2]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

勇谦司 ;

木村真弓 ;

田湖次广 .

中国专利 :CN103125017B ,2013-05-29

[3]

金属蚀刻液组合物及其蚀刻方法 [P].

颜子钧 ;

李家兴 ;

邱少华 ;

雷伯钧 ;

李森雄 ;

吕志鹏 .

中国专利 :CN102102206A ,2011-06-22

[4]

蚀刻液组合物 [P].

梁承宰 ;

李昔准 ;

权五柄 .

中国专利 :CN102597162B ,2012-07-18

[5]

蚀刻液组合物 [P].

徐佳贤 ;

申贤哲 ;

权玳路 ;

黄俊荣 ;

车敬雄 ;

金成玟 .

韩国专利 :CN120945368A ,2025-11-14

[6]

蚀刻液组合物和蚀刻方法 [P].

青木珠美 ;

正元祐次 ;

斋尾佳秀 ;

石崎隼郎 .

中国专利 :CN109844910A ,2019-06-04

[7]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

黄若涵 ;

吴光耀 ;

黄宜琤 ;

罗致远 ;

卢厚德 .

中国专利 :CN104611700A ,2015-05-13

[8]

蚀刻液组合物和蚀刻方法 [P].

大宫大辅 .

中国专利 :CN110383430A ,2019-10-25

[9]

蚀刻液组合物以及蚀刻方法 [P].

田口雄太 ;

齐藤康太 .

中国专利 :CN104160486A ,2014-11-19

[10]

蚀刻液组合物以及蚀刻方法 [P].

石崎隼郎 ;

大宫大辅 .

中国专利 :CN108028198A ,2018-05-11

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