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蚀刻液组合物和蚀刻方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201880016111.8
申请日：
2018-01-26
公开(公告)号：
CN110383430A
公开(公告)日：
2019-10-25
发明(设计)人：
大宫大辅
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
H01L21308
IPC分类号：
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;李茂家
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-11-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/308 申请日:20180126 |
| 2019-10-25 | 公开 | 公开 |