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蚀刻液组合物和蚀刻方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980068224.7
申请日：
2019-10-08
公开(公告)号：
CN112867812A
公开(公告)日：
2021-05-28
发明(设计)人：
斋尾佳秀 大宫大辅 青木珠美
申请人：
申请人地址：
日本东京都
IPC主分类号：
C23F130
IPC分类号：
H05K306
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;李茂家
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-06-15 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/30 申请日:20191008
2021-05-28 公开 公开
共 50 条
[1]
蚀刻液组合物和蚀刻方法 [P]. 
石崎隼郎 ;
大宫大辅 .
中国专利 :CN104233299B ,2014-12-24
[2]
蚀刻液组合物和蚀刻方法 [P]. 
青木珠美 ;
正元祐次 ;
斋尾佳秀 ;
石崎隼郎 .
中国专利 :CN109844910A ,2019-06-04
[3]
蚀刻液组合物和蚀刻方法 [P]. 
大宫大辅 .
中国专利 :CN110383430A ,2019-10-25
[4]
蚀刻液组合物和蚀刻方法 [P]. 
大宫大辅 ;
青木珠美 .
中国专利 :CN108780747B ,2018-11-09
[5]
蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P]. 
黄若涵 ;
吴光耀 ;
黄宜琤 ;
罗致远 ;
卢厚德 .
中国专利 :CN104611700A ,2015-05-13
[6]
蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P]. 
罗致远 ;
黄若涵 ;
吴光耀 ;
黄宜琤 ;
卢厚德 .
中国专利 :CN104611701A ,2015-05-13
[7]
蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P]. 
河野良 ;
大和田拓央 .
中国专利 :CN109328394A ,2019-02-12
[8]
蚀刻液组合物与蚀刻方法 [P]. 
牛台宾 .
中国专利 :CN101245462A ,2008-08-20
[9]
蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P]. 
河野良 ;
清水寿和 .
中国专利 :CN105297022A ,2016-02-03
[10]
蚀刻液和蚀刻方法 [P]. 
吴豪旭 .
中国专利 :CN113529085A ,2021-10-22
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