蚀刻液组合物及蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780039260.1

申请日：

2017-07-07

公开(公告)号：

CN109328394A

公开(公告)日：

2019-02-12

发明(设计)人：

河野良大和田拓央

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21308

IPC分类号：

C23F126 H01L213213 H01L21768

代理机构：

上海一平知识产权代理有限公司 31266

代理人：

马莉华;徐迅

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-02-12	公开	公开
2019-07-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/308 申请日:20170707

共 50 条

[1]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

河野良 ;

清水寿和 .

中国专利 :CN105297022A ,2016-02-03

[2]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

黄若涵 ;

吴光耀 ;

黄宜琤 ;

罗致远 ;

卢厚德 .

中国专利 :CN104611700A ,2015-05-13

[3]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

山口隆雄 ;

石川典夫 .

中国专利 :CN103046050A ,2013-04-17

[4]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

勇谦司 ;

木村真弓 ;

田湖次广 .

中国专利 :CN103125017B ,2013-05-29

[5]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

罗致远 ;

黄若涵 ;

吴光耀 ;

黄宜琤 ;

卢厚德 .

中国专利 :CN104611701A ,2015-05-13

[6]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

清水寿和 ;

大和田拓央 .

中国专利 :CN108690984A ,2018-10-23

[7]

蚀刻液组合物及使用该蚀刻液组合物的蚀刻方法 [P].

廖本男 ;

廖伯轩 ;

张善钧 ;

李盈壕 ;

吕志鹏 .

中国专利 :CN105887089B ,2016-08-24

[8]

蚀刻液组合物与蚀刻方法 [P].

牛台宾 .

中国专利 :CN101245462A ,2008-08-20

[9]

蚀刻液组合物和蚀刻方法 [P].

青木珠美 ;

正元祐次 ;

斋尾佳秀 ;

石崎隼郎 .

中国专利 :CN109844910A ,2019-06-04

[10]

蚀刻液组合物和蚀刻方法 [P].

斋尾佳秀 ;

大宫大辅 ;

青木珠美 .

中国专利 :CN112867812A ,2021-05-28

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