蚀刻液组合物及使用该蚀刻液组合物的蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510516460.4

申请日：

2015-08-21

公开(公告)号：

CN105887089B

公开(公告)日：

2016-08-24

发明(设计)人：

廖本男廖伯轩张善钧李盈壕吕志鹏

申请人：

申请人地址：

中国台湾桃园市

IPC主分类号：

C23F118

IPC分类号：

C23F126 C23F102

代理机构：

北京戈程知识产权代理有限公司 11314

代理人：

程伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-24	公开	公开
2016-09-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101679344299 IPC(主分类):C23F 1/18 专利申请号:2015105164604 申请日:20150821
2018-09-11	授权	授权

共 50 条

[1]

蚀刻液组成物及使用该蚀刻液组成物的蚀刻方法 [P].

吕志鹏 ;

陈韵慈 ;

廖本男 ;

李懿 .

中国专利 :CN108998032B ,2018-12-14

[2]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

罗致远 ;

黄若涵 ;

吴光耀 ;

黄宜琤 ;

卢厚德 .

中国专利 :CN104611701A ,2015-05-13

[3]

金属蚀刻液组合物及其蚀刻方法 [P].

颜子钧 ;

李家兴 ;

邱少华 ;

雷伯钧 ;

李森雄 ;

吕志鹏 .

中国专利 :CN102102206A ,2011-06-22

[4]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

河野良 ;

清水寿和 .

中国专利 :CN105297022A ,2016-02-03

[5]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

黄若涵 ;

吴光耀 ;

黄宜琤 ;

罗致远 ;

卢厚德 .

中国专利 :CN104611700A ,2015-05-13

[6]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

勇谦司 ;

木村真弓 ;

田湖次广 .

中国专利 :CN103125017B ,2013-05-29

[7]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

清水寿和 ;

大和田拓央 .

中国专利 :CN108690984A ,2018-10-23

[8]

蚀刻液组合物及应用它的蚀刻方法 [P].

吴光耀 ;

汤慧怡 ;

陈雨农 .

中国专利 :CN106929853A ,2017-07-07

[9]

蚀刻液组合物及应用它的蚀刻方法 [P].

吴光耀 ;

汤慧怡 ;

陈雨农 .

中国专利 :CN115305472A ,2022-11-08

[10]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

河野良 ;

大和田拓央 .

中国专利 :CN109328394A ,2019-02-12

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