金属蚀刻液组合物及其蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910260642.4

申请日：

2009-12-18

公开(公告)号：

CN102102206A

公开(公告)日：

2011-06-22

发明(设计)人：

颜子钧李家兴邱少华雷伯钧李森雄吕志鹏

申请人：

申请人地址：

中国台湾桃园县

IPC主分类号：

C23F114

IPC分类号：

C23F116 C23F102

代理机构：

北京戈程知识产权代理有限公司 11314

代理人：

程伟

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-08-03	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101094136940 IPC(主分类):C23F 1/14 专利申请号:2009102606424 申请日:20091218
2011-06-22	公开	公开
2013-02-13	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101515207842 IPC(主分类):C23F 1/14 专利申请号:2009102606424 申请公布日:20110622

共 50 条

[1]

蚀刻液组合物及使用该蚀刻液组合物的蚀刻方法 [P].

廖本男 ;

廖伯轩 ;

张善钧 ;

李盈壕 ;

吕志鹏 .

中国专利 :CN105887089B ,2016-08-24

[2]

蚀刻液组合物与蚀刻方法 [P].

牛台宾 .

中国专利 :CN101245462A ,2008-08-20

[3]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

河野良 ;

清水寿和 .

中国专利 :CN105297022A ,2016-02-03

[4]

蚀刻液组合物和蚀刻方法 [P].

青木珠美 ;

正元祐次 ;

斋尾佳秀 ;

石崎隼郎 .

中国专利 :CN109844910A ,2019-06-04

[5]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

黄若涵 ;

吴光耀 ;

黄宜琤 ;

罗致远 ;

卢厚德 .

中国专利 :CN104611700A ,2015-05-13

[6]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

山口隆雄 ;

石川典夫 .

中国专利 :CN103046050A ,2013-04-17

[7]

蚀刻液组合物和蚀刻方法 [P].

大宫大辅 .

中国专利 :CN110383430A ,2019-10-25

[8]

蚀刻液组合物以及蚀刻方法 [P].

田口雄太 ;

齐藤康太 .

中国专利 :CN104160486A ,2014-11-19

[9]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

勇谦司 ;

木村真弓 ;

田湖次广 .

中国专利 :CN103125017B ,2013-05-29

[10]

蚀刻液组合物以及蚀刻方法 [P].

石崎隼郎 ;

大宫大辅 .

中国专利 :CN108028198A ,2018-05-11

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