套刻对准标记及掩模板组件

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120925351.9

申请日：

2021-04-29

公开(公告)号：

CN214623293U

公开(公告)日：

2021-11-05

发明(设计)人：

沈俊明吴建宏林士程

申请人：

申请人地址：

230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号

IPC主分类号：

G03F142

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

田婷

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-05	授权	授权

共 50 条

[1]

套刻对准方法及套刻模板组件 [P].

惠利省 ;

杨国文 ;

白龙刚 .

中国专利 :CN115083982B ,2022-09-20

[2]

用于制作对准标记的掩模板组件和对准标记的制作方法 [P].

黄建维 .

中国专利 :CN120143542A ,2025-06-13

[3]

掩模板、掩模板组件及掩模板组件制备方法 [P].

谢飞 ;

宋裕斌 ;

吴建鹏 ;

杨博文 ;

尚钰东 ;

李荣辉 ;

刘远洋 ;

刘番 ;

田昊 ;

楚志伟 .

中国专利 :CN112962056B ,2021-06-15

[4]

蒸镀用掩模板及掩模板组件 [P].

林盈妃 ;

李明亮 .

中国专利 :CN207512253U ,2018-06-19

[5]

掩模板框架及掩模板组件 [P].

赵莹 ;

张磊 ;

王盼盼 ;

李慧 ;

朱修剑 .

中国专利 :CN115110028B ,2024-08-20

[6]

掩模板框架及掩模板组件 [P].

赵莹 ;

张磊 ;

王盼盼 ;

李慧 ;

朱修剑 .

中国专利 :CN115110028A ,2022-09-27

[7]

套刻标记 [P].

曾炜炜 ;

叶峻玮 .

中国专利 :CN221926931U ,2024-10-29

[8]

掩模板、蒸镀掩模板组件及蒸镀设备 [P].

吴建鹏 ;

徐鹏 ;

杨忠英 ;

罗昶 ;

李雪萍 ;

黄立为 ;

于名印 ;

冯巧 ;

佘建民 ;

胡红伟 ;

曹英 ;

宋德雄 ;

辛燕霞 ;

周才龙 .

中国专利 :CN207331041U ,2018-05-08

[9]

金属掩模板组件 [P].

吴空物 ;

刘志文 .

中国专利 :CN208234982U ,2018-12-14

[10]

掩模板组件 [P].

徐倩 ;

吴建鹏 ;

罗昶 ;

嵇凤丽 .

中国专利 :CN210193986U ,2020-03-27

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